TY  - JOUR
AU  - M. F. Galyautdinov
AU  - Yu. K. Danileiko
AU  - M. M. Zaripov
AU  - A. A. Manenkov
AU  - A. V. Sidorin
AU  - I. B. Khaibullin
AU  - E. I. Shtyrkov
TI  - Annealing of implanted layers of silicon by the pulsed $\mathrm{CO}_2$-laser radiation
JO  - Doklady Akademii Nauk
PY  - 1981
SP  - 1110
EP  - 1113
VL  - 257
IS  - 5
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1981_257_5_a21/
LA  - ru
ID  - DAN_1981_257_5_a21
ER  -