%0 Journal Article
%A M. F. Galyautdinov
%A Yu. K. Danileiko
%A M. M. Zaripov
%A A. A. Manenkov
%A A. V. Sidorin
%A I. B. Khaibullin
%A E. I. Shtyrkov
%T Annealing of implanted layers of silicon by the pulsed $\mathrm{CO}_2$-laser radiation
%J Doklady Akademii Nauk
%D 1981
%P 1110-1113
%V 257
%N 5
%I mathdoc
%U http://geodesic.mathdoc.fr/item/DAN_1981_257_5_a21/
%G ru
%F DAN_1981_257_5_a21