TY  - JOUR
AU  - Krátká, N.
AU  - Neykova, N.
AU  - Kromka, A
AU  - Rezek, B.
TI  - Etching Effects of Low Temperature Hydrogen plasma on encapsulated diamond transistors
JO  - Acta Universitatis Carolinae. Mathematica et Physica
PY  - 2012
SP  - 97
EP  - 103
VL  - 53
IS  - 2
PB  - mathdoc
UR  - http://geodesic.mathdoc.fr/item/AUCMP_2012__53_2_a10/
LA  - en
ID  - AUCMP_2012__53_2_a10
ER  -